作者：苏俊宏
类别：学术科普电子书
关键词：光学薄膜厚度的光干涉测试方法
整理日期：2023-01-12 11:12:04
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作品导读
光干涉计量测试技术是以波长为计量单位，是一种公认的高精度计量测试技术。干涉仪输出的是一幅干涉图，借助于数学物理模型，可以将干涉图与多种被测参数相联系，从而实现相关物理参数的测量。薄膜光学常数(折射率、消光系数)和厚度是薄膜设计和制备所必需的重要..
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