作者：德哈纳拉
类别：学术科普电子书
关键词：蒸发及外延法晶体生长技术
整理日期：2023-01-17 03:37:57
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作品导读
《springer手册精选系列·晶体生长手册（第4册）：蒸发及外延法晶体生长技术（影印版）》的主题是气相生长。这一部分提供了碳化硅、氮化镓、氮化铝和有机半导体的气相生长的内容。随后的parte是关于外延生长和薄膜的，主要包括从液相的化学气相淀积到脉冲激光和..
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